HMDS預(yù)處理真空烘箱,用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中光刻膠和晶片涂膠，將HMDS涂到晶片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物，是一種表面活性劑，它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。